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“第1次光刻实验,启动!”
总控台一声令下,涂胶后的晶圆被机械臂吸起,放到了光刻机的履带。
随着履带的转动,晶圆进入了机器。
“光源放光!”
指令还没说完,光刻机的屏幕突然一黑。
“怎么回事?”
主控台传来疑问。
“报告,液态金属锡未被击中,滴落面板导致短路!”
实验显然以失败告终!
陆晨眉头皱了起来。
没有命中,这说明光源的部分还是出了问题。
需要再次调校才能开始第二次试验。
大家并没有气馁。
因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的!
停机修整之后。
很快,第二次实验开始。
“报告,双移动工件台同步对准出现异常,导致光刻胶涂层大面积曝光!”
第三次。
“报告,芯片良率太差!”
第四次……
第五次……
经过很多次失败之后,科研小队渐渐开始着急了起来。
所有人都在反复确认各项数据和资料,因为这样每拖一天,都是极大的损耗!
凌晨三点。
大部分的工作人员全部下班回到了宿舍休息。
而在办公楼,还有一个房间在亮着灯。
会议室内,各个小组的负责人开始向陆晨汇报检查结果。
每次试验失败,都要各个小组回到办公室重新做一遍排查。
每一个细节,每一个关键点!
都要像重新制作一样,重新开始。
科研是枯燥的。
很多科研项目一拖就是好几年,很大部分时间,就是在重复的排查被浪费!
不过陆晨心里并没有太多压力,这几天他逐个排查各个小组工作。
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