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绿城市。
2007年元旦刚过。
高新区真理电子工厂,迎来了京城科工委的专家调研团。
由于赵主任亲自挂帅,使得平原省、绿城市两级部门不敢怠慢,主要领导都到场亲自陪同。
这样的大阵仗,林畅也是第一次面对。
他准备了简短的欢迎仪式,然后陪同着领导和专家们一起进入厂区。
主要经办人刘彬、许安易,给来访的众人讲解硅片厂、晶圆厂的建设情况。
花费了一个多小时,领导们和专家团在厂区内的建设工地,走马观花的看了一遍。
京城大学的齐教授感慨道:“国内投建的几家芯片制造厂,我都参与或实地了解过,没想到你们的厂房建设,竟然全是自研技术,而且指标还这么高!”
许安易笑着回道:“我们在晶圆厂内的布局上,也参考了不少国外的方案。”
“但世界上目前已经投产、最先进的只有65纳米工艺,而我们的目标是45纳米制程甚至更小,而且还是12寸的大晶圆,需求的生产环境差别比较大,没有参照对象只能自己建立新的指标和要求。”
对于他自夸式的回答,不少专家都皱起了眉头。
某大学教授沉声道:“不管你们厂房的建设技术是自研还是引进的,但话还是不要说太满!据我所知,因特尔对于45纳米的研究很早就开始了…”
旁边一位中年教授也插话道:“有干劲是好事,但口号喊得再大也没用,得拿出真材实料来,不要像那个研发‘汉芯’的人一样闹出笑话!”
专家团来之前,看了不少这次调研对象的技术资料。
真理科技宣称成功研发的12寸晶圆技术,就已经够让人吃惊了,更别说比世界、比灯塔国都要先进的45纳米制程了。
曾经获奖无数的“汉芯”专家,造假吹牛都不敢说这么大,超越世界的制程技术是那么容易的?
一旁陪同的绿城市市长蔡元婴,听到这么多专家质疑,心里很是不平。
他站出来笑着说道:“林总,要不咱们直接去实验室,看看你们的设备?毕竟领导和专家们只看过上报的技术资料,还没见到过实物啊。”
赵主任笑呵呵的看了蔡元婴一眼,也说道:“真理科技之前的成就,已经得到了充分验证,我们这次兴师动众的过来,也是为表达部委乃至国家对你们的重视,所以林总方便的话,就优先展示你们在芯片制造领域的重要技术成果吧。”
林畅笑着点点头,“没问题,大家请跟随我去那边的实验楼。”
实验楼一楼。
这里整层都被改造成芯片实验室,已经小批量的在试生产芯片了。
刘彬作为真理半导体的负责人,从晶圆的加工设备开始,一路带着大家观看切割、研磨等各个工序。
然后是光刻、刻蚀、沉积...直到封装测试的整个工艺流程。
穿着防护服的刘彬,指着刚刚完成封装的一批45纳米制程芯片,大声的宣讲着:
“各位领导,各位专家,硅晶的制备设备我们也已经制造完毕,但在实验楼不好部署展示。”
“目前能看到的工艺流程中,包括EDA芯片设计软件,掩膜板的制作,光刻机以及重要的耗材等,这些核心设备全都是我们独自研发,次要设备是在国内相关厂家定制的,整个芯片制造产线可以说是100%夏国制造!”
他的话音刚落,领导和专家团便激动的鼓起了掌!
整个参观过程大家都是静默的,谁也没想到这个面积庞大的实验室里,如此先进的设备竟然都是自研的。
那台名为ZL400的浸没式DUV光刻机,采用了193纳米ArF光源,这可是比荷兰ASML公司正在研发的XT1900i,更早实现了量产45纳米制程芯片啊。
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